與低真空單元相比，在分子流狀態(tài)下工作的高真空排氣單元具有較低的工作壓力（10 ^ -2Pamdash，10 ^ -4Pa），較小的排氣量和較大的抽速。該單元的主泵通常是擴散泵，擴散增壓泵，分子泵，鈦泵，低溫冷凝泵等。這些泵不能直接在大氣中工作，因此需要配備預泵或前級維護泵。一些擴散泵高真空抽氣單元還配備了前空氣儲罐，以防止壓力波動并提高單元性能。預泵（粗泵）主要用于去除真空室內(nèi)的大量氣體，使真空室內(nèi)的壓力從1倍10 ^ 5Pa降至主泵可以開始工作的真空度。因此，預泵的壓力低于主泵的啟動工作壓力。預泵（例如機械泵）的抽速取決于粗抽時間?？梢詮墓剑?-11）導出