可以將用于真空殘留氣體分析的質(zhì)譜儀用于泄漏檢測(cè)（泄漏的材料可以是氫氣，氦氣，氬氣等），但是泄漏檢測(cè)的靈敏度不同，請(qǐng)參見表13-14。自從1940年代質(zhì)譜儀用于泄漏檢測(cè)以來，泄漏檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。用于泄漏檢測(cè)的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜儀。具有靈敏度高，性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。特別地，使用氦氣作為泄漏指示氣體的質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器是具有高靈敏度z *且在真空泄漏檢測(cè)中通常使用z *的泄漏檢測(cè)儀器。