如果需要實(shí)現(xiàn)較低的壓力,必須在上游連接附加的羅茨真空泵
如果需要實(shí)現(xiàn)較低的壓力,必須在上游連接附加的羅茨真空泵?! 榱双@得在低入口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組,此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。在極端情況下,在1000hPa這10-3hPa的整個壓力范圍內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)基本恒定的抽速,且各個泵級可按2:1至3:1的比率來選擇然而,要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),羅茨真空泵必須配備相應(yīng)強(qiáng)大...