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干式真空泵種類很多，按工作原理可分為兩類：①容積式干式真空泵，例如：多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等，這種干式泵的極限壓力一般為0.1Pamdash，10Pa，抽速為0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。此外在這些制造工藝中，被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒，嚴重影響油封泵的使用壽命因此，近年來世界各國相繼研制出工作在10^5Pamdash，0.1P...

如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器mdash，mdash，水冷障板?！稣婵毡贸渌ǎ簩τ谶M水管直徑大于300mm的大、中型泵站，或自動化要求程度較高的泵站，真空抽氣裝置是常用的一種充水設(shè)備。二、水環(huán)真空泵停泵操作規(guī)程1、停泵通知相關(guān)崗位和班長，關(guān)閉泵體注水線上的閥門，關(guān)閉密封液閥，停電機，關(guān)泵出入口閥，確認泵出入口閥全關(guān)。

水環(huán)真空泵故障常見的故障一般是真空度低或者卡死等1、試車或運轉(zhuǎn)過程中卡死原因：結(jié)垢嚴重解決方法：拆卸清除或用酸洗原因：填料壓蓋太緊解決方法：放松壓蓋螺栓原因：內(nèi)部機件生銹解決方法：用力扳動轉(zhuǎn)子并用草酸清洗原因：異物卡住泵轉(zhuǎn)子解決方法：用水沖刷并打開檢查2、電機短路或過載原因：繞組短路解決方法：檢查電機繞組。水環(huán)真空泵故障常見的故障一般是真空度低或者卡死等1、試車或運轉(zhuǎn)過程中卡死原因：結(jié)垢嚴重解決方...

在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求，4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵，5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，3）除半導體工...

各種干式真空泵的極限壓力、特點見表3-114。另外，干式真空泵的轉(zhuǎn)速越高，其壓縮比越大，因此非接觸型干式真空泵的轉(zhuǎn)速多為3000r/min?！　「鞣N干式真空泵的極限壓力、特點見表3-114。