對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求
對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求,也是選擇前級(jí)泵的必須考慮的,對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa~1X10-2Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。風(fēng)冷式多級(jí)羅茨泵的工作原理由于吸入室中無(wú)摩擦,羅茨真空泵可在高達(dá)6000rpm的高轉(zhuǎn)速下操作轉(zhuǎn)子質(zhì)量圍繞軸線對(duì)稱(chēng)分布還產(chǎn)生完美的動(dòng)態(tài)平衡,這意味著,盡管其轉(zhuǎn)速很高,泵的運(yùn)行卻極為安靜?! ?duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要...