在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒
在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導體工...