干式真空泵按轉(zhuǎn)子接觸與否又可分為非接觸型(羅茨式、爪式、螺桿式)和接觸式(葉片式、凸輪式、活塞式)兩類
干式真空泵按轉(zhuǎn)子接觸與否又可分為非接觸型(羅茨式、爪式、螺桿式)和接觸式(葉片式、凸輪式、活塞式)兩類。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,4)在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵,5)用做一般無...