那么真空泵濾芯怎樣維護(hù)和保養(yǎng)呢?　　真空泵濾芯，在真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)中主要過濾形式有三種：　　1、進(jìn)氣濾芯（能有效防止固體顆粒及細(xì)灰被吸入真空泵降低機(jī)械磨損，提高運(yùn)行可靠性。在延長泵的使用壽命的同時也能有效的保護(hù)系統(tǒng)元件.）　　2、排氣濾芯（兼顧排氣阻力，容塵量，油氣分離性能三者的立要求達(dá)到最優(yōu)的平衡。不同的內(nèi)外位置要用不同的材料以達(dá)到不同的分離目的）　　3、油濾芯（用于真空泵的潤滑油過濾，延長油的使用期主流式濾清器，安裝在油路中）　　使用與維護(hù)方法：　　在清掃更換方面，有很多人不得要領(lǐng)，往往是白白花費了力氣，卻沒收到比較好的效果?！　?、松開旋鈕式螺栓將過濾器外殼與頭部分離。注意不要將橡膠密封圈和纖維質(zhì)墊圈丟失?！　?，小心地取下彈簧和毛氈墊片然后再取出紙質(zhì)過芯?！　?、用毛刷清除過濾芯折縫里的灰塵和異物，然后用手將其平放輕拍使剩余的灰塵落下，擦去外殼內(nèi)壁的灰塵及纖維墊上的灰塵?！　?、按拆卸時相反的順序?qū)⒁亚鍜吒蓛艋蛐碌倪^濾芯裝回去。。

　　XG-6型干式旋片真空泵技術(shù)性能見表3-115　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安裝尺寸見表3-116。。

2．特性曲線　　2SK-P水環(huán)一大氣噴射泵組特性曲線如圖3-19所示。

泄漏率高氣密性以及防止氣體通過止回閥從周圍空氣或排氣凈化系統(tǒng)或洗滌器回擴(kuò)的性能使得多級羅茨泵成為腐蝕性氣體應(yīng)用的完美解決方案封裝電機(jī)也是防漏概念的一部分。。

近年來，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

（2）抽速為300L/s的帶旁通閥羅茨真空泵，標(biāo)記為：ZJP-3002.羅茨泵基本參數(shù)應(yīng)符合表3-81規(guī)定。。

3.雙抽頭、雙表顯，可單獨或并聯(lián)使用4.耐酸、堿、溶劑腐蝕。真空度上不去應(yīng)首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。如屬泵的問題，則檢查進(jìn)水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。循環(huán)水真空泵的電機(jī)不轉(zhuǎn)，應(yīng)檢查電源或保險絲。如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。真空泵在工作第一個月內(nèi)，經(jīng)100h更換潤滑油，以后每隔500h，換一次油。經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。循環(huán)水式多用真空泵的使用方法：準(zhǔn)備工作。將本機(jī)平放于工作臺上，首次使用時，打開水箱上蓋注入清潔的涼水（亦可經(jīng)由防水軟管加水），當(dāng)水面即將升至水箱后面的溢水嘴下高度時停止加水，重復(fù)開機(jī)可不再加水。

首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要6、干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點。。

泵體都是按照某一種類型的工作液進(jìn)行出廠設(shè)置只有在使用普發(fā)真空建議使用的工作液時，才能保證目錄中指定的旋片式真空泵達(dá)到極限壓力。制造商不接受因使用其他工作液所造成的損害責(zé)任。不同類型的油不得混合。一些油不能相混合，因為這樣有可能對泵系統(tǒng)造成損害。。

　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右　　二、渦旋式真空泵的工作原理　　渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)?！　§o渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線（在橫截面上是幾個點）上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動，接觸點沿渦旋曲面移動實現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣?！　≡陔姍C(jī)的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。　　通過動圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運(yùn)行模式。　　三、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點　　渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，主要由5個部件組成　?、賱屿o渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)　　渦旋式真空泵的主要運(yùn)動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運(yùn)動半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡單緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。　　渦旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。