?、陔p級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當進入氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮、壓強急增，被壓縮的氣體除經(jīng)通道2進人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出?！　‘斶M入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經(jīng)通道2進入工室，經(jīng)I室的繼續(xù)壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。。

近年來，干式機械真空泵得到迅速的發(fā)展，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵國內(nèi)的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比（單級壓縮比）。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比（指單級壓縮比）。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據(jù)不同的用途加以選擇。。

某些腐蝕性氣體可導致水箱內(nèi)水質(zhì)變差，產(chǎn)生氣泡，影響真空度，故應(yīng)注意不斷循環(huán)換水對特殊強腐蝕性氣體，應(yīng)認真判斷是否與本設(shè)備所使用材料有反應(yīng)，并謹慎使用。特點1.比其它類型真空泵節(jié)電35%以上。2.特制的流體消聲器，減少水中氣體，使真空度更高更穩(wěn)；減少氣液摩擦，降低噪聲。3.雙抽頭、雙表顯，可單獨或并聯(lián)使用。4.耐酸、堿、溶劑腐蝕。真空度上不去應(yīng)首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。如屬泵的問題，則檢查進水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。循環(huán)水真空泵的電機不轉(zhuǎn)，應(yīng)檢查電源或保險絲。如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

動渦旋盤由偏心軸驅(qū)動與靜渦旋盤做相對擺動運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)　　與其他種類的無油真空泵相比無油渦旋真空泵具有下述特點：　?、贌o油，無摩擦---非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；　　②抽氣量大---雙渦旋盤結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；　　③抽氣效率高---帶有3-4個抽氣單元，壓差?。淮髿馀c真空之間由0型圈密封，泄漏低；　?、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動??；　?、萁Y(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn)；　?、摅w積小，維修方便，維護費用低；　　　　⑦采用空氣冷卻，無需水冷?！　≡摐u旋真空泵主要應(yīng)用于下述領(lǐng)域：　　①半導體行業(yè)mdash，mdash，薄膜制備設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備；　　②科學儀器行業(yè)mdash，mdash，同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器；　　③機械設(shè)備行業(yè)mdash，mdash，材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備；　　④化學工業(yè)；　　⑤醫(yī)療設(shè)備mdash，mdash，牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備；　?、薨b行業(yè)mdash，mdash，食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。　　該渦旋真空泵能夠給用戶解決真空系統(tǒng)的污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題，并且使系統(tǒng)制造與運行成本降低。因此在國外市場擴展迅速，僅日本一個公司產(chǎn)品在中國z*近3年間銷售額就增長了10倍。是一項不容忽視的技術(shù)與產(chǎn)品?！　”疚目偨Y(jié)了無油渦旋真空泵的技術(shù)發(fā)展與應(yīng)用，內(nèi)容包括從渦旋技術(shù)的發(fā)展到無油渦旋真空泵的工作原理、制造工藝、技術(shù)指標、特點、基本用途和實際應(yīng)用方法；對無油渦旋真空泵技術(shù)有一個系統(tǒng)的介紹。。

①2XZ型直聯(lián)真空泵抽氣速率與進氣口壓力曲線如圖3-32所示②2XZ-B型直聯(lián)真空泵抽氣速率與進氣口壓力曲線如圖3-33所示。③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直聯(lián)旋片式真空泵特性曲線如圖3-34所示。。

　　在電機的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對被抽氣體形成包容和強制輸送　　通過動圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運行模式。　　三、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點　　渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，主要由5個部件組成　　①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機構(gòu)；⑤電機渦旋真空泵結(jié)構(gòu)　　渦旋式真空泵的主要運動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡單緊湊、運行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點，這是其他類型的干式真空泵所不具備的?！　u旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。真空泵真空泵真空泵的基本特點_真空泵。

無往復運動質(zhì)量還能提供無故障的動態(tài)平衡，這意味著，羅茨真空泵的運轉(zhuǎn)極其安靜，盡管其具有高轉(zhuǎn)速設(shè)計轉(zhuǎn)子軸軸承安排在兩個側(cè)蓋中。它們在一側(cè)被設(shè)計為固定軸承，在另一側(cè)被設(shè)計為可動（松動）軸承，以實現(xiàn)殼體和轉(zhuǎn)子之間不平衡熱膨脹。軸承使用通過飛濺圓盤置換到軸承和齒輪的油進行潤滑。標準版本上驅(qū)動軸饋通與外部通過浸入在密封油中、由FPM制成的徑向軸密封環(huán)密封。為保護軸，密封環(huán)在保護套上運行，該保護套在磨損后可更換。如果與外部之間需要進行嚴密密封，泵還可通過帶有罐裝置的永磁體耦合方式驅(qū)動。該設(shè)計能提供泄漏率QI小于10-6Pam3s-1。泵性能，加熱由于羅茨泵沒有內(nèi)部壓縮或出口閥，當吸入室打開時，其氣體體積回流到吸入室，然后必須對著出口壓力重新排放。由于這種影響，特別是在入口和出口之間存在高壓差的情況下，產(chǎn)生高能量耗散，這導致泵在低氣體流量下顯著變熱，而低氣體流量只能傳送少量的熱。與殼體相比，旋轉(zhuǎn)羅茨活塞相對難以冷卻，因為它們實際上是真空絕緣的。

使用第三級羅茨輔助A1803H型號，可提供緊湊、極其強大的泵站，具有z*大抽速，適合于CVD工藝AD73KH在空運行流程泵上采用變頻控制的羅茨泵，羅茨泵在其本身的框架內(nèi)具有額定抽速4500m3middot，h-1。由于模塊化結(jié)構(gòu)，安裝很容易，且泵站中的各個泵可單獨取出，并在維修工作進行的情況下進行保養(yǎng)。進氣側(cè)的羅茨泵變頻器允許在廣泛的氣體吞吐量范圍對過程參數(shù)進行調(diào)整，并允許各種不同的過程氣體。普發(fā)真空不斷監(jiān)測行業(yè)各個領(lǐng)域中工藝的動態(tài)發(fā)展，并在未來將繼續(xù)提供優(yōu)化的泵解決方案以滿足這些需求。。

2、國產(chǎn)XZ型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-633、TRP型直連旋片式真空泵技術(shù)性能見表3-64。。

現(xiàn)在就來說說羅茨泵特點和用途　　一、羅茨泵特點　　在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速，　　對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感，　　轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油，　　振動小，轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥，　　低轉(zhuǎn)速，效率高，體積小，流量大，消耗功率小，自吸能力強，不用引油，使用方便等特點?！　《⒘_茨泵用途　　可廣泛用于輸送石油及石油產(chǎn)品（汽油可換銅泵葉）和工廠輸送各種油類和液體。如原油，油漆，潤滑油，玻璃膠，油脂酸，牙膏和淡堿性（肥皂加工）液體等，食品加工可輸送各種液體，如豆醬，醺母，糖稀等。裝卸各種油槽車及油輪等速度快、效率高，使用方便，可以正反轉(zhuǎn)工作。。