為了使用方便和各種真空工藝過程的需要有時將各種真空泵按其性能要求組合起來以機組型式應用常用真空泵包括...
經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮,z*后由前級真空泵抽走。 真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:①半導體行業(yè):薄膜制造設備、半導體器件封裝設備,②科學儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器,③機械設備行業(yè):材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備,④醫(yī)療設備行業(yè):牙科儀器、透...