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干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中，2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。目前，干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。

水環(huán)式真空泵機械密封的更換拆裝步驟：　　1、拆掉水環(huán)式真空泵兩端機械密封的冷卻水管，　　2、拆卸動力端皮帶輪（更換非動力端機械密封時無這一步），　　3、分別把動力端和非動力端的機械密封拆下掛在軸上，注意輕拆輕放，這一步尤其重要，避免了損壞完好端的機械密封（注意：如果是單獨檢修兩端的軸承，這一步也是必須的），　　4、拆下要更換機械密封端的軸承壓蓋，卸下軸承鎖緊背帽，　　5、用頂絲把軸承座連同軸承一起...

如果需要實現(xiàn)較低的壓力，必須在上游連接附加的羅茨真空泵。真空泵真空泵真空泵與隔膜泵機械密封的正確使用_真空泵。目前兩臺真空泵為一運一備方式，改造后機組正常運行時主要以高效真空泵組維持真空，實現(xiàn)一運兩備，設(shè)備之間有可靠的聯(lián)鎖控制系統(tǒng)。

若有螺桿真空泵上的零部件等待修配、加工時，其他零部件可適當涂以清潔的真空泵油，防止生銹。果然，抽氣速率的調(diào)動也會產(chǎn)生單價的攀升，但其增幅不大所以，挑選小型真空泵時需求認真法定真空度指標，其次是抽氣速率，這樣才氣z*好地兼顧采用機能和成本。SZ型水環(huán)式真空泵技術(shù)性能分別見表3-15、表3-16；SZ型單級水環(huán)式真空泵特征曲線見圖3-7，圖中水溫為攝氏27deg，時的實測值；SZ-1、SZ-2型水環(huán)式...

一樣平常環(huán)境，一臺真空泵、一個汽水疏散器、一個真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個簡略的真空機組體系。一樣平常環(huán)境，一臺真空泵、一個汽水疏散器、一個真空罐和、電壓力表和控制柜都可以組成一個簡略的真空機組體系?！　　　《o油真空泵工作原理：　　　　無油真空泵和一般容積泵相同，由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。

不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用14